不銹鋼材料因其抗腐蝕和抗氧化性能成為高純氣體系統(tǒng)首選的材料。316L 不銹鋼因能抵抗焊接或應(yīng)力釋放后的晶間腐蝕最為通用。為保證流體產(chǎn)品的性能,材料成分含量和雜質(zhì)控制是關(guān)鍵因素之一,直接影響流體產(chǎn)品加工后的延展性、抗腐蝕性能和焊接后性能。
1. 鉻 Cr - 抗氧化性,抗腐蝕性高的鉻 Cr 含量,能保證不銹鋼表面形成氧化鉻層厚度并提高抗腐蝕性能。
2. 鎳 Ni - 穩(wěn)定奧氏體結(jié)構(gòu),延展性高的鎳 Ni 含量,能穩(wěn)定奧氏體結(jié)構(gòu),保證不銹鋼在更寬的溫度范圍和不同的流體介質(zhì)中的延展性。
3. 碳 C - 晶間腐蝕,碳化物低的碳 C 含量,能防止晶間腐蝕,同時(shí)防止在焊接后碳化物的析出。
4. 硫 S - 焊接性能,硫化物低的硫 S 含量,同時(shí)材料中硫 S 含量在窄的變化范圍內(nèi),才能保證優(yōu)質(zhì)的焊縫形狀,既沒有凹陷也沒有凸起,在焊接內(nèi)壁形成真正的完全焊透,是高純應(yīng)用的必然要求。一致的半導(dǎo)體級焊接質(zhì)量才能滿足半導(dǎo)體工程建設(shè)的高效高質(zhì)生產(chǎn)施工。